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손형민 (Hyung-Min Son) 논문수  · 이용수 40

소속기관
충북대학교
소속부서
전기공학과
주요 연구분야
자연과학 > 물리학
연구경력
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  • 저자정보 . 논문
  • 공저자 . 저널

저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드
#식각 공정
#플라즈마
#활성종 조성
#Etching process
#Plasma
#Radical composition

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