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신소민 (S. Shin) 논문수 · 이용수 1,181 · 피인용수 5

소속기관: 한국과학기술원

소속부서: School of Mechanical Engineering, Graduate School

주요 연구분야: 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

연구경력: -

저자정보 . 논문
공저자 . 저널

저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드: #Atomization; #blade cooling(블레이드 냉각); #Bolt tightening; #Break-in; #Break-in (브레이크 인); #Chemical mechanical planarization; #Chemical mechanical planarization (화학 기계적 평탄화 공정); #Chemical mechanical planarization (화학기계적연마); #Chemical mechanical planarization (화학적 기계적 평탄화); #CMP pad; #CMP(Chemical mechanical planarization); #CMP(Chemical Mechanical Planarization)(화학적 기계적 평탄화); #Contact condition; #Convective Heat Transfer(대류 열전달); #Copper; #Copper CMP(구리 화학기계적연마); #Copper pattern; #Dishing; #Distribution of asperity height (돌기 높이 분포); #Finite Element Method; #Hardness(경도); #Hue Detection(색상 검출); #impingement cooling(충돌 냉각); #Interfacial problem; #Interlayer dielectric; #Lubrication (윤활); #Material removal rate; #Mathematical model; #Mathematical modeling; #Mathematical modeling (수학적 모델링); #Mechanism(메커니즘); #Modeling(모델링); #Multi-nozzle(다중 노즐); #Nano-indentation(나노압입시험기); #Non-uniformity(연마균일도); #Oxidation behavior; #Package substrate; #Pad asperity; #Pad asperity (패드 돌기); #Pad asperity(패드 돌기); #Pattern density; #Pattern size; #Pattern size (패턴 크기); #Pressure distribution(압력 분포); #Real contact area; #Real contact area (실 접촉 면적); #Slurry; #Slurry supply system; #Slurry temperature(슬러리 온도); #staggered jets(엇갈린 제트); #Stress analysis; #Surface morphology; #Surface roughness; #Technique; #Temperature; #Temperature (온도); #thermal performance factor(열성능비); #Thin film surface; #Tightening torque; #Transient Liquid Crystals(천이 액정법); #Underhead friction

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