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T.G. Park (정옥찬) 논문수 · 이용수 878 · 피인용수 1

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소속부서: -

주요 연구분야: 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

연구경력: -

저자정보 . 논문
공저자 . 저널

저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드: #Anisotropic Etching; #Boundary Layer; #English only and one line only; #Etching Characteristics; #Feedforward Compensation; #Gimbal; #glass dry etching; #Gyroscope; #Mass Unbalance Torque; #Megasonic Agitation; #Micro Lens Array; #microarray; #piezoelectric dispenser; #single photoresist mask; #Single photoresist thermal reflow; #Stabilized Platform; #Surface Roughness; #Times New Roman 9pt; #Tip array

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