MOCVD ( 유기금속 화학 증착법 )

김무성

전자공학회지

1987 .02

MOCVD법으로 증착된 구리 박막의 특성평가

표성규 ,  김헌도 ,  김삼동 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

MOCVD법을 이용한 Sapphire(${Al}_{2}{O}_{2}$) 기판상의 GaN 선택적 성장특성 연구

이재인 ,  변동진 ,  금동화 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

TiN Film Formation using Low-Pressure Metalorganic Chemical Vapor Deposition ( LP-MOCVD ) for ULSI Applications

J. S. Kim ,  S. W. Pa ,  k 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

유기 금속 화학 증착법을 이용한 수직형 GaAs 전계효과 트랜지스터 제작 ( Fabrication of Vertical GaAs FET by Metalorganic Chemical Vapor Deposition )

홍창희 ,  김창태 ,  정기웅 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

MOCVD 공정을 이용한 GaAs 박막성장의 비선형 표면반응모델에 대한 연구

임익태

대한기계학회 논문집 B권

2008 .03

Deposition of $CeO_2$ on Biaxially Textured Ni Substrates by a Metalorganic Chemical vapor Deposition Method

Kim ,  Ho-Jin ,  Joo 외 17명

한국초전도학회 High Temperature Superconductivity

2002 .01

저압 유기 금속 화학 증착법으로 성장시킨 GaN 박막의 캐소드루미네슨스에 대한 연구 ( Cathodoluminescence Study of GaN Films Grown by Low-Pressure Metalorganic Chemical Vapor Deposition )

홍창희

전자공학회논문지-D

1999 .05

Plasma Enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition of PZT Ferroelectric Thin Films

Won Gyu Lee ,  Seong Il Woo

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착에서 플라즈마가 증착특성에 미치는 영향

김동찬 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포

정원영 ,  천성순 ,  유형준 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

수정된 화학증착방법의 모델링과 실헙적 연구 ( Experimental and Modelling Study of the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  조재걸 ,  최만수

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1996 .01

수정된 화학증착방법의 모델링과 실험적 연구 ( Experimental and Modelling Study of the Modified Chemical Vapor Deposition Process )

박경순 ,  조재걸 ,  최만수

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Studies on the Formation of Indium Droplets in InGaN Grown by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

H. Pa ,  k ,  Y. Pa 외 4명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

Plasma-Enhanced MOCVD법에 의해 MOCVD-Pt 위에 제조된 강 유전체 Sr${Bi}_{2}{Ta}_{2}{O}_{9}$ 박막의 특성

성낙진 ,  최은석 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Metalorganic Vapor Phase Epitaxy

정원국

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1990 .05

미세접촉인쇄와 금속-유기 화학증착법에 이용한 산화티타늄 박막의 형상화

정덕영 ,  강병창 ,  부진효

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

화학증착법으로 제조한 실리카/알루미나 복합막의 기체분리특성과 stability에 관한 연구

김성일 ,  하홍용 ,  남석우 외 2명

한국막학회 총회 및 학술발표회

1997 .01