MONTE CARLO SIMULATION OF ENERGY DISSIPATION IN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY INCLUDING SECONDARY ELECTRON GENERATION

Kang Yoon Lee ,  Guang Sup Cho ,  Duk In Choi

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

Monte Carlo Simulation기법을 이용한 송전계통의 신뢰도 평가

문승필 ,  김홍식 ,  최재석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .05

Monte-Carlo 시뮬레이션을 이용한 캘리브레이션 데이터의 오차해석

안일혁 ,  황지홍 ,  최우천

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

Analysis of Dose Distribution According to the Initial Electron Beam of the Linear Accelerator: A Monte Carlo Study

Pa ,  k ,  Hyojun 외 6명

방사선방어학회지

2018 .01

“Thick-Path” Monte Carlo Method

Lee ,  Myung Woo

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2011 .05

집속이온빔 리소그라피(Focused Ion Beam Lithography)의 노출 및 현상에 대한 몬테칼로 전산 모사

이현용 ,  김민수 ,  정홍배

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Monte Carlo simulation에 의한 nMOSFET의 hot electron현상해석

민병혁 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .11

Monte Carlo Simulation of Ion Implantation Profiles Calibrated for Various Ions over Wide Energy Range

Kunihi ,  o SUZUKI ,  Yoko TADA 외 2명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2009 .03

화력기 운전 특성을 고려한 Monte Carlo 발전시뮬레이션

차준민 ,  오광해 ,  송길영

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

Modeling for N-MOSFET by Monte Carlo Simulation

Jun Koo Rhee ,  Min Koo Han

JTC-CSCC : Joint Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

1989 .01

Monte-Carlo 시뮬레이션 기반 Power Curve의 전력변환 오차 개선에 관한 연구

윤은정 ,  허진 ,  정솔영 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Monte Carlo Simulation of Hot Electron Induced Gate Current in MOSFET

H. C. Ng ,  H. Wong ,  E. H. Li 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

MONTE-CARLO 방법을 이용한 2-DEG 전달특성 분석 ( TRANSPORT CHARACTERISTICS ANALYSIS BY MONTE-CARLO METHOD )

남승현 ,  정학기 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

몬테카를로시뮬레이션 (Monte-Carlo simulation)을 이용한 전과정평가의 불확실성에 대한 확률통계적분석

안상전 ,  이건모 ,  이상용 외 1명

대한환경공학회 학술발표논문집

2005 .12