基板 / 酸化膜および酸化膜 / ゲ-ト界面の微細構造制御による酸化膜信賴性の向上 ( Oxide Reliablity Controlling Microstructure of Substrate / Oxide and Oxide / Gate Interface )

유상이랑; 봉이지; 계하민언; 대창리

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 유상이랑 봉이지 계하민언 대창리

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 워크샵 대한전자공학회 워크샵(Scaled Device/Process and High Performance Circults International Workshop)

발행연도: 1997.1

수록면: 183 - 189 (7page)

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