SF₆/O₂ 플라즈마를 이용한 구리 표면 처리 후 표면 Corrosion 특성 연구

임노민 ,  이준명 ,  이재민 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

레이저플라즈마의 諸特性의 計測

姜衡富

전기의세계

1980 .03

Laser Produced Soft X-ray Source For X-ray Lithography

김병태

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Three Dimensional Integration of Micro Solution Plasmas for Plasma Electrochemical Material Processing

Tatsu ,  u Shi ,  afuji 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

플라즈마를 이용한 유동 제어

신지철

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2009 .11

나노패턴을 위한 CF₄/C₄F₈/Ar 유도결합 플라즈마에서의 Si 및 SiO₂ 식각 메커니즘 연구

이재민 ,  권광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

X-ray Photoelectron Spectroscopic Study of Ge₂Sb₂Te₅ and Its Etch Characteristics in Fluorine Based Plasmas

전민환 ,  강세구 ,  박종윤 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

LASER

박병철

전자공학회지

1969 .11

X-Ray Lithography With High Power Laser

Hong Jin Kong

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Simulations of Capacitively Coupled Plasmas Between Unequal-sized Powered and Grounded Electrodes Using One-and Two-dimensional Fluid Models

Soon-Youl So

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2004 .10

Etching Mechanism of IGZO Thin Films as the Effect of Inert Gases in CF₄/Ar Plasmas

Young-Hee Joo ,  Jong-Chang Woo ,  Chang-Il Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Plasmas-Surface-treatment of nylon fiber for water-repellency improvement by low pressure RF plasma discharge processing

지영연

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

Effects on Ti-Silicidation of Residue and Lattice Damage Subjected During the Contact Etch Process using High Density Plasmas

Hyeon Soo Kim ,  Jong Gu Yoon ,  Wook Jun Nam 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Run-to-Run Control of Inductively Coupled C2F6 Plasmas Etching of SiO2 : Construction of a Process Simulator with a CFD code

Seung T. Seo ,  Yong H. Lee ,  Kwang S. Lee 외 2명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2005 .06

Measurement of Monodisperse Particle Charging in Unmagnetized and Magnetized Plasmas

Ahn ,  Kang-Ho ,  Han 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

Ar 플라즈마 상태에서 운동하는 탄소 입자 모델링

소순열 ,  이진 ,  정해덕 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  장제욱 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

이행형 토치에서의 아크 플라즈마의 물리적 거동에 관한 연구

金外東 ,  高光哲 ,  姜衡富

전기학회논문지

1996 .03

3-D Measuring System of Huge Structures Using Laser Spot-Ray Projection

T. Ishimatsu ,  K. Suehi ,  o 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

3-D Measuring System of Huge Structures Using Laser Spot-Ray Projection

T. Ishimatsu ,  K. Suehi ,  o 외 3명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1990 .10