Silicon Micromachining

M. Esashi

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Silicon Micro-probe Card Using Porous Silicon Micromachining Technology

Young-Min Kim ,  Ho-Cheol Yoon ,  Jong-Hyun Lee

[ETRI] ETRI Journal

2005 .08

A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon

Sang Woo Lee ,  Sang Jun Pa ,  k 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06

Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )

양의혁 ,  양상식 ,  황성호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

압저항 연성해석을 통한 고충격 미소가속도계의 최적설계 및 성능 비교

권순재 ,  한정삼

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

2㎜ × 2㎜ 초소형 실리콘 압저항형 가속도 센서의 설계 및 제작

전연화 ,  박기웅 ,  김현철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2013 .07

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1992 .10

압저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구 ( Study on a Silicon Resonator for Piezoresistive Accelerometers )

양상식 ,  양의혁

대한기계학회 춘추학술대회

1992 .01

압전저항 가속도계를 위한 실리콘 공진자에 관한 연구

양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

Silicon Micromachined RF Components : Review

Jong-Gwan Yook

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

Micromachined Inductors on Silicon Substrates

Hwan Hee. Lee ,  Jae Y. Pa ,  k

대한전자공학회 ISOCC

2005 .10

Pt/HfSi_xO_y/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박전웅 ,  염민수 ,  심현상 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

Fabrication of Fluid Element Using Silicon Micromachining and Performance Analysis Compared With Measurements

김태현 ,  조동일 ,  최해천 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

다공질 실리콘 ( Porous Silicon ) 의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )

양천순 ,  박정용 ,  이종현

전자공학회논문지

1990 .10

Performance Characteristics of a Silicon Micromachined Thermal Flow Sensor for Species of Gases

Sung-Cheoul Roh ,  Yong-Moon Choi

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

2006 .06

Through Silicon Via Allocation Method in 3D Network-on-Chip

Jo Eun Lee ,  Tae Hee Han

대한전자공학회 학술대회

2019 .06

빔 위치변화에 따른 4빔 압저항형 실리콘 가속도 센서의 제조 및 특성비교 ( Fabrication and Characteristics Comparison of Piezoresistive Four Beam Silicon Accelerometer Based on Beam Location )

신현옥 ,  손승현 ,  최시영

전자공학회논문지-D

1999 .07

다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )

조찬섭 ,  심준환 ,  이종현

전자공학회논문지-A

1994 .11