금속 구조 변화에 따른 선택 화학기상증착 W Plug 의 접합 신뢰성 연구 ( The Effects of Metal Structure on the Junction Stability of Sub - micron Contacts Using Selective CVD - W Plug )

최경근; 김춘환; 박흥락; 고철기

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최경근 김춘환 박흥락 고철기

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-A 전자공학회논문지 A편 제31권 제5호

발행연도: 1994.5

수록면: 552 - 558 (7page)

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