베이스 영역의 불순물 분포를 고려한 집적회로용 BJT의 역포화전류 모델링

이은구; 김태한; 김철성

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이은구 김태한 김철성

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제40권 제4호

발행연도: 2003.4

수록면: 13 - 20 (8page)

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반도체 소자이론에 근거한 집적회로용 BJT의 역포화 전류 모델을 제시한다. 공정 조건으로부터 베이스 영역의 불순물 분포를 구하는 방법과 원형 에미터 구조를 갖는 Lateral PNP BJT와 Vertical NPN BJT의 베이스 Gummel Number를 정교하게 계산하는 방법을 제시한다. 제안된 방법의 타당성을 검증하기 위해 20V와 30V 공정을 기반으로 제작한 NPN BJT와 PNP BJT의 역포화 전류를 실측치와 비교한 결과, NPN BJT는 6.7%의 평균상대오차를 보이고 있으며 PNP BJT는 6.0%의 평균 상태오차를 보인다.

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