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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.9
- 수록면
- 1,842 - 1,848 (7page)
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Although DLC coatings have good tribological properties, these are dependant on the deposition method, the property of contact surface, and test condition. Humidity, which has little influence on tribological behavior in macro scale, is an important factor of tribological behavior in small devices like MEMS. The objective of this study is to investigate the tribological behavior of DLC coatings with particular attention to their wettability at various humidities. DLC coatings were deposited on Si substrates and tested using a reciprocating friction tester against Si₃N₄balls at various humidities. The results showed that the tribological behavior of DLC coatings was dependant on relative humidity and wettablility of DLC coatings. Friction coefficient at high relative humidity was higher than at low relative humidity. The tungstem-containing DLC coatings had a good wear resistance at low relative humidity whereas DLC coatings derived from argon(Ar)+ccsium(Cs)gases showed a good wear resistance at high relative humidity.
목차
Abstract
1.서론
2.실험
3.실험결과 및 고찰
4.결론
후기
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