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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.6
- 수록면
- 69 - 75 (7page)
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In this study, thin film gas sensor based on tin oxide was fabricated to examine its characteristics. Target gas is acetonitrile (CH₃CN) which is a blood simulant for the chemical warfare agent. Sensing materials are SnO₂, SnO₂/Pt, and Sn/Pt with thickness from 1000 to 3000Å. The sensor consists of a sensing electrode with inter-digit (IDT) type in front side and a heater in rear side. Resistance changes of sensing materials are monitored on real time basis using a data acquisition board with a 12-bit analog to digital converter. Sensitivities are measured at different operating temperatures also with different gas concentrations and film thickness. The high sensitivity is obtained for Sn (3000Å)/Pt (30Å) at 300℃ for 3 ppm. Response and recovery times were about 40 and 160 s, respectively. Repetition measurements showed very good results with ±3% in full scale range.
목차
Abstract
1.INTRODUCTION
2.EXPERIMENTS
3.RESULTS AND DISCUSSION
4.CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGEMENTS
REFERENCES
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