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This study was how to control the mass flow controller In gas supplying system The flow controller consists of plezoelectric material and sensor with heating wire It is difficult to obtain accurate model, because MFC was composed of many parts, and the relationship between input and output of controller is nonlinear. The model for contral was obtained by time constant and DC gam Based on this model. PID controller was applied to flow controller using DSP board Also, the results were compared to controller using system identification.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 모델링
3. 실험장치 및 방법
4. 제어
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
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