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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
Korean Institute of Information Scientists and Engineers Journal of Electrical Engineering and Information Science Journal of Electrical Engineering and Information Science Vol.3 No.2
발행연도
1998.4
수록면
245 - 250 (6page)

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Novel fabrication process of vertical spring for micro mirror array is proposed. The proposed fabrication process adopts a shadow evaporation process using shielding screen structure on top of the sacrificial layer. The 50 × 50 micro mirror arrays are fabricated using the proposed process and ceramic packaged. The static and dynamic characteristics of mirror arc measured. The mirror plate touches substrate at 16 V and the response time of mirror is about 16.8 ㎲. The resonant frequency of mirror is 16 ㎑. The spring thickness is calculated from static characteristic to be 1075 Å.

목차

Abstract

Ⅰ. Introduction

Ⅱ. Spring Fabrication

Ⅲ. Mirror Fabrication

Ⅳ. Electromechanical Characteristics

Ⅴ. Conclusion

Acknowledgements

References

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