Cathodic Arc Plasma Deposition법을 이용한 (Til-xAlx)N박막 합성 및 고온내마모특성에 관한 연구

윤주선; 김형준; 한전건; 송건

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 윤주선 김형준 한전건 송건

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제9회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1995.6

수록면: 93 - 94 (2page)

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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