UHV - CVD와 UHV - ECRCVD를 이용한 게이트용 다결정 SiGe 박막 증착에 관한 연구

박진원 ,  임승현 ,  여환국 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Si / SiGe Epitaxial Growth by UHV - CVD

송석찬 ,  임승현 ,  이승윤 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

The Thin Silicon Films Prepared by Thermal - and Photo - CVD at Low Temperatures

Chan-Hwa CHUNG ,  Jae Hyun HAN ,  Sang Heup MOON

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

UHV - CVD를 이용한 Si 선택적 단결정막 성장

임승현 ,  송석찬 ,  박태서 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Fundamental Process of Epitaxy Investigated by RHEED - TRAXS and UHV - SEM

Shozo Ino

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

UHV 시스템 및 FED Test 장비

정승민

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

UHV - LCVD 장치를 이용한 박막제작에 관한 연구 (Ⅰ) - 장치 제작을 중심으로 -

최원국 ,  윤덕주 ,  공병인 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .06

Polycrysatlline SiGe Layers Grown by UHV - CVD

박진원 ,  여환국 ,  임승현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

초고진공 저온 주사터널 현미경 장치의 최신 경향

함웅돈 ,  염한웅

진공이야기

2016 .12

CBE(Chemical Beam Epitaxy) 와 ALE(Atomic Layer Epitaxy) 성장법에 의한 GaAs Epitaxy 성장

박성주

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

UHV Scanning Tunneling Microscope

구자용

진공이야기

2016 .03

Effect of Filament Temperature, Processing Pressure and CH₄ gas on Silicon-Carbide Films at Low Temperatures by Cat-CVD

황재담 ,  이경민 ,  김태환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Generation of UHV with a dry turbo- and backing pump combination

And ,  eas SCHOPPHOFF

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Photoluminescence Studies of ZnO Thin Films on Porous Silicon Grown by Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy

Min Su Kim ,  Giwoong Nam ,  Soa 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Si+이온주입에 의한 비정질씰리콘의 고상 Epitaxy에 관한 연구

오재근 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

A Novel Solid Phase Epitaxy Emitter for Silicon Solar Cells

김현호 ,  박성은 ,  김영도 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

XPS Study of Ionic Liquid Solutions in UHV

Ji-Hye Kwon ,  Y. C. Kang

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Direct Deposition of microcrystalline Si Films at Low Temperatures (＜200 ℃) by Catalytic CVD

Tae-Hwan Kim ,  Kyung-Min Lee ,  Sunghwan Won 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Room-temperature Ferromagnetism in Tetragonal Mn_2-xCr_xAs Film Grown by Molecular-beam Epitaxy

Younghun Hwang ,  Jeongyong Choi ,  Sunglae Cho

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

Expanding Thermal Plasma CVD of Silicon Thin Films and Nano-Crystals : Fundamental Studies and Applications

Richa ,  d van de Sanden

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08