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Al doped ZnO 박막의 원자층 증착법(ALD)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
새로운 Al 선구 물질을 이용한 Al₂O₃박막의 ALD 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Fabrication of dense Al2O3 thin films using UV-enhanced ALD at room temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
ALD 방법에 의한 ZnO 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
ALD법으로 증착한 SrTiO₃ 박막의 후속 열처리 온도에 따른 물리적 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
LCD소자용 MIM 다이오드의 특성연구
Applied Science and Convergence Technology
2003 .03
액상 Cu(Ⅱ) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
CIGS 박막 태양전지용 하부전극 Mo 박막증착 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
PC 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
유기금속화합물을 이용한 원자층단위 증착에 의한 금속확산 방지층의 증착특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
원자층 증착기구(ALD)를 이용한 Zirconia / Titania 다층 박막의 Gate Oxide용 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Investigation of MIM capacitor in dielectrics using cocktail precursor by atomic layer deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Unusual ALD Behaviors in Functional Oxide Films for Semiconductor Memories
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Non-volatile Memory Behaviors of Al₂O₃/Cu/Al₂O₃ Multi-layers prepared by ALD
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
커버글라스 기판 위 ALD 성장시킨 TiO₂ 박막의 질화 과정에 따른 물리적 특성의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Characterization of Al2O3 Thin Film Encasulation by Plasma Assisted Spatial ALD Process for Organic Light Emitting Diodes
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
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