Diamond - like Carbon 박막의 압축잔류응력에 대한 습도의존성

이영진; 이광렬; 양인상

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이영진 이광렬 양인상

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제27회 학술발표회초록집

발행연도: 2004.8

수록면: 156 - 156 (1page)

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