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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1997.2
- 수록면
- 31 - 31 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (4)
1997
구리배선재료에서 산화물이 도입된 확산방지막특성에 관한 연구
윤동수
,
이성만
,
백홍구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997.02
학술대회자료
DRAM / FRAM capacitor electrode에서 산화물이 도입된 확산방지막특성에 관한 연구
윤동수
,
이성만
,
백홍구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997.02
학술대회자료
DRAM/FRAM capacitor electrode에서 산화물이 도입된 확산방지막의 특성에 관한 연구
윤동수
,
이성만
,
백홍구
한국재료학회 학술발표대회
1997.01
학술대회자료
구리배선재료에서 산화물이 도입된 확산방지막의 특성에 관한 연구
윤동수
,
이성만
,
백홍구
한국재료학회 학술발표대회
1997.01
학술대회자료
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목차
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 참고 문헌
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구리배선재료에서 산화물이 도입된 확산방지막특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
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2011 .02
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