Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation

유동훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Plasma Source Ion Implantation using High Power Pulsed RF Plasma

Seunghee Han ,  Yeonhee Lee ,  Youngwoo Kim 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Plasma and pulsed power application to agriculture

Koichi TAKAKI

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Si Fin etching using Cl₂/Ar Sync, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas

김희주 ,  김교운 ,  홍종우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

The comparative study of pure and pulsed DC plasma sputtering for synthesis of nanocrystalline Carbon thin films

Jin Xiang Piao ,  Manish Kuma ,  Amjed Javid 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Development of the DC-RF Hybrid Plasma Source

김지훈 ,  천세민 ,  강인제 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Plasma Propagation Speed and Electron Temperature of Atmospheric Pressure Non-Thermal Ar Plasma Jet

한국희 ,  김동준 ,  김현철 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Review of Plasma Sources

장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Wide Parameter Range Pulsed Power Plasma Processing

J. Engemann

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute

송미영 ,  김대철 ,  권득철 외 16명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Hydrogen Plasma와 Oxygen Plasma를 이용한 50 ㎚ 텅스텐 패턴의 Oxidation 및 Reduction에 관한 연구

김종규 ,  조성일 ,  남석우 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

원통형 바늘 구조의 플라즈마 제트 방출 특성

임현교 ,  김동준 ,  김정현 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2011 .01

K - PLASMA 소개

서광원

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Microtrenching of SiO₂ contact hole etching in C₄F₈/Ar capacitively coupled plasma

S. J. Kim ,  J. J. Lee ,  H. J. Yeom 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08