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유도 결합 플라즈마에서 E-H 모드 전이에 관한 연구 및 전자 에너지 분포 함수의 주파수 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
유도 결합 플라즈마에서의 기체 유량에 따른 전자 에너지 분포의 전이
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
유한한 크기를 가지는 유도 결합 플라즈마에서 비충돌 가열 매커니즘 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
유도결합플라즈마에서 플라즈마 변수와 전자 에너지 분포에 대한 RF bias의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
유도 결합 플라즈마에서의 안테나 권선 수에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
극판 전극이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 유도 결합 전기장과 용량성 결합 전기장에 관한 전자 가열 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도 결합 플라즈마에서 안테나의 가상 접지가 전자 밀도 분포에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
용량 결합형 플라즈마 방전에서 전자 에너지 분포, 이온 에너지 분포,유동 및 열전달을 고려한 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
자기장을 인가한 솔레노이드형 유도 결합 플라즈마 장치에서의 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
저밀도 유도 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
이중 주파수를 이용한 유도 결합형 플라즈마의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
펄스 파워 유도결합 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
이중 주파수(Dual Frequency)를 이용한 유도결합 플라즈마 소스의 방전 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
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