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저진공펌프의 저유량 영역에서의 배기속도 측정 시스템 구축
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
저진공 드라이펌프의 용량과 컨덕턴스에 따른 배기속도의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
부하 조건에 따른 건식 진공펌프의 배기성능 변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
저진공펌프의 복합 성능평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발(3 세부과제)
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
진공펌프 배기속도 측정 방식에 따른 구조적 오차 및 보정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
진공펌프 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
고진공펌프 배기속도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
보조펌프(backing pump)의 배기용량에 따른 터보분자펌프(TMP) 배기속도 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
진공펌프 종합특성 평가장치 구축 ; 정적형유량계를 이용한 저진공펌프의 성능평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
초박막 공정용 진공펌프 특성평가 및 복합 상태 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
상용화를 위한 진공펌프 신뢰성평가에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
이온펌프 배기셀에 따른 배기속도
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
건식진공펌프 개발 국내외 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Conductance 변화에 의한 진공펌프 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
진공펌프 배기속도 측정방식에 따른 구조적 오차 및 보정
Applied Science and Convergence Technology
2011 .11
공정현장 적응능력 평가를 위한 드라이펌프의 실시간 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
게터조합펌프의 배기속도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
저진공펌프의 동적 측정을 통한 상태진단 인자 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
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