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상압 플라즈마의 전극 구조에 따른 DBD 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
진공 플라즈마의 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마의 응용과 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
Ar, N₂ 전자빔 플라즈마의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
상압 플라즈마를 이용한 carbon film 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
플라즈마 임피던스 변화를 이용한 대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
플라즈마 집속장치로부터 생성된 펄스플라즈마의 에너지, 밀도 및 T⊥ 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
사이레인 플라즈마에서 발생하는 실리콘 기반 나노입자 및 플라즈마의 in-situ 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Transient Spark 방전에 대한 전기ㆍ광학적 특성 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
HF 플라즈마의 방전 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
이중 주파수를 이용한 유도 결합형 플라즈마의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
고밀도 플라즈마의 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
대면적 플라즈마 반응기에서의 안테나와 aspect ratio에 따른 플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
상압 플라즈마를 이용한 탄소나노튜브 성장 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Mesh Type 전극을 이용한 대기압 플라즈마 소스 개발 및 전기ㆍ광학적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
상압 플라즈마를 이용한 저온 증착 공정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
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