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건식진공펌프 개발 국내외 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
건식 진공펌프의 소음특성에 대한 실험적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
저진공 드라이펌프의 용량과 컨덕턴스에 따른 배기속도의 비교 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
진공펌프 진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
상용화를 위한 진공펌프 신뢰성평가에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
건식 진공펌프와 확산펌프에서의 오일 증기 역류 현상에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
스크류 형 건식진공펌프 기술 현황 및 응용
Applied Science and Convergence Technology
2008 .07
반도체 공정용 진공 펌프의 에너지 소비특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
건식 진공펌프의 상태진단을 위한 PMS 프로그램 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
간단한 조합펌프의 진공 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
부하 조건에 따른 건식 진공펌프의 배기성능 변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
저진공펌프의 복합 성능평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
공정현장 적응능력 평가를 위한 드라이펌프의 실시간 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
반도체 공정의 에너지 저감에 따른 드라이펌프의 에너지 소비특성 평가 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
Ejector를 이용한 진공 펌프의 소비 전력 절감
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반도체급 공정용 건식진공펌프 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
건식타입 저진공용 토러스 진공 펌프 개발(4) : (고진공 펌프와 토러스 펌프의 조합 시험)
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
건식타입 저진공용 토러스 진공 펌프 개발(1)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
건식타입 저진공용 토러스 진공 펌프 개발(2)
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Smart형 PMS를 이용한 진공펌프 상태진단 기술 개발 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
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