LIF와 컷오프탐침을 이용한 CF2 라디칼 밀도와 플라즈마 변수의 진단 및 상관관계 연구

김정형; 유용심; 신용현; 정광화

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김정형 유용심 신용현 정광화

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제26회 학술발표회초록집

발행연도: 2004.2

수록면: 124 - 124 (1page)

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