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정전 탐침을 이용한 산소 플라즈마의 음이온 발생 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
RF 펄스 플라즈마에서 cutoff 탐침을 이용한 전자밀도의 시간변화 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
펄스 파워 유도결합 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
액체 속에서의 고전압 펄스 플라즈마 발생 및 분광학적 플라즈마 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
랑뮤어 탐침에 의해 변형된 열플라즈마 특성에 관한 해석적 연구
Applied Science and Convergence Technology
2008 .05
전력 분배를 이용한 이중 유도코일 구조의 고균일도 플라즈마 발생장치
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
저온 대기압 플라즈마 발생 및 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
젯 어레이 형 대기압 플라즈마의 처리 방식이 자궁경부암 세포에 미치는 영향 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
대면적 플라즈마 반응기에서의 안테나와 aspect ratio에 따른 플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
고주파 플라즈마 발생장지 제작 및 플라즈마 광 방출 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
대기압 플라즈마 밀도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
RF 플라즈마에서 왜곡된 랑뮤어 탐침 I-V곡선의 수치적 왜곡 제거 방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
랑뮤어 탐침에 의해 변형된 열플라즈마 특성에 관한 해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
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