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본 연구에서는 물체의 형상을 측정하기 위하여 사용할 수 있는 여러 가지 방법중 위상이동법을 이용하여 주어진 물체의 형상을 재구성하였다. 투영하는 직선형 무늬는 Twyman-Green 간섭계를 이용하여 발생시켰고, PZT를 이용하여 이들 무늬를 공간적으로 이동시켰다. Hariharan의 위상복구 알고리즘을 사용하여 시료에 투영된 간섭무늬 영상을 해석하여 주어진 시료의 형상을 보정 상수의 범위이내로 재현할 수 있음을 보였다. 그러나 레이저광의 높은 가간섭성(coherence)에 의한 여러 잡음 성분들에 의한 부작용이 관찰되었으며, 정확한 보정의 문제도 주목되었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 위상 이동법에 의한 3차원 Profilometry
Ⅲ. 위상이동법에 의한 형상측정실험
Ⅳ. 맺는말
사사
참고문헌
Abstract
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UCI(KEPA) : G300-j12256285.v5n2p191