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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제7권 제1호
발행연도
1996.3
수록면
66 - 71 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (8)

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Floating guard ring(FGR) 구조를 갖는 avalanche photodiode(APD)는 제작이 매우 간단하고 제작된 소자의 신뢰성이 뛰어나기 때문에 고감도 특성의 고속동작 수광소자로 적합하다. 본 연구논문에서는 FGR APD의 구조설계, 제작공정 및 특성 측정 결과에 대해 논의하였다. FGR-APD는 이중확산 방법으로 제작하였으며, FGR이 가드링으로서 동작함을 2차원 이득특성 측정으로부터 확인할 수 있었다. 제작된 APD는 35 ㎓의 이득-대역폭 곱을 나타내었으며, 2.5 Gbps NRZ(Non-return-to-zero) 광신호에 대한 수신 감도는 비트오율이 10^(-9)일 때 -31.9 ㏈m이었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. Floating guard ring의 동작원리

Ⅲ. 에피층 설계

Ⅳ. 소자 제작

Ⅴ. 소자 특성 및 논의

Ⅵ. 결론

참고문헌

Abstract

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UCI(KEPA) : G300-j12256285.v7n1p66