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생산성 향상을 위하여 정렬된 마이크로칼럼을 이용하여 멀티-전자빔 리소그라피 장치를 개발하였다. 마이크로칼럼은 매우 작은 크기를 가지고 있어 병렬구조로 정렬하여 작동시킬 수 있다. Single Column Module(SCM) 구조의 멀티 전자빔 리소그라피 시스템과 전자칼럼을 제작하여 250 eV에서 300 eV 에너지 범위에서의 저에너지 마이크로칼럼 리소그라피를 성공적으로 수행하였다. 전자방출원에서 방출되는 전자빔의 총 전류가 0. 5 ㎂일때, 샘플에서의 전류는 ＞1 ㎁으로 측정되었으며 리소그라피 패텅닝에서 사용된 working distance은 ∼1 ㎜ 였다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 전자칼럼의 기본 구조
Ⅲ. 멀티빔 리소그라피 시스템 구조
Ⅳ. 저에너지 마이크로칼럼 리소그라피
Ⅴ. 결론
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