초정밀 반도체 금형 제작을 위한 슈퍼드릴 방전가공기 전극가이드 개발과 미세홀 방전가공

박찬해; 김종업; 왕덕현; 김원일

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 박찬해 김종업 왕덕현 김원일

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제4권 제3호

발행연도: 2005.9

수록면: 32 - 38 (7page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

Electrical discharge machining is the method of using thermal energy by electrical discharge. Generally, if the material of workpiece has conductivity even though very hard materials and complicated shape which are difficult to cut such as quenching steel, cemented carbide, diamond and conductive ceramics, the EDM process is favorable one of possible machining processes. But, the process is necessarily required of finish cut and heat treatment because of slow cutting speed, no mirror surface, brittleness and crack due to the residual stress for manufactured goods. In this experimental thesis, the super EDM drilling was developed for high precision semiconductor die steel and for minimization of leadframe width. It was possible to development of EDM drilling machine for high precision semiconductor die with the electrode guide and its modelling and stress analysis. The development of electrode with the copper pipe type was conducted to drill the hole from the diameter of 0.1mm to 3.0mm with the error of from 0.02mm to 0.12mm. From the SEM and EDX analysis, the entrance of the EDM drill was found the resolidification of not only the component of tungsten but also the component of copper.

참고문헌 (5)

참고문헌 신청

[학술지(정기간행물)] - / 1983. / EDM Technology for Precise Workpieces with Excellent Surface Quality : 126 ~

[학술지(정기간행물)] - / 1993. / Metal Surface Modification by Electrical Discharge Machin- ing with Composite Electrode 42 : 219 ~ 222

[학술지(정기간행물)] - / 1999. / Machinability and Surface Characteristics of Sintered Carbides in W-EDM : 100 ~

[학술지(정기간행물)] - / 1990. / 放電加工의 實際와 應用 : 7 ~ 103

[학술지(정기간행물)] - / 1992. / Investigation on the Optimum Carbide Content and Machining Condition for Wire EDM of Zirconia Ceramics 41 : 231 ~ 234

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

박찬해

소속기관 한국기계가공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 2 이용수 439

김종업

소속기관 한국기계가공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 5 이용수 659

왕덕현

소속기관 경남대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10% 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 146 이용수 7,267

김원일

소속기관 덴소인터내셔널코리아

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 139 이용수 7,368

이 논문과 함께 이용한 논문

초정밀 반도체 금형 제작을 위한 미세홀 방전가공

박찬해 , 김종업 , 왕덕현 외 1명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2005 .06

W-EDM의 전극재료와 방전가공 특성

김창호 , 허관도 , 최재찬 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 1999 .11

엔드밀 가공시 진동, 표면거칠기, 절삭온도에 미치는 최적가공조건에 관한 연구

홍도관 , 김동영 , 안찬우 한국소음진동공학회논문집 2004 .12

미세 방전을 이용한 3차원 미세 구조물 및 미세 공구 제작

이영수 , 김보현 , 이상민 외 4명 소성·가공 2005 .06

굴삭기 안전 관리를 위한 인양작업에 관한 기초연구

이용수 대한토목학회논문집 D 2011 .11

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-581-018232985

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (5)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)