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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제5권 제1호
발행연도
1995.2
수록면
42 - 47 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1995

RF Diode 스퍼터 방법으로 증착된 FeN 다층 박막의 자기적 특성
최연봉 ,  박세익 ,  조순철 한국자기학회지 1995.02 학술저널

1994

박막 자기 유도 헤드용 고포화 자화 FeN 다층 박막의 자기적 특성
최연봉 ,  박세익 ,  조순철 대한전자공학회 학술대회 1994.11 학술대회자료
박막 자기 유도 헤드용 고포화 자화 FeN다층 박막의 자기적 특성 ( Magnetic Propertie of high Saturation magnetization FeN Multilayer for thin film magnetic inductive heads )
최연봉 ,  박세익 ,  조순철 대한전자공학회 학술대회 1994.11 학술대회자료

초록· 키워드

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자기 유도 헤드용 FeN 박막을 RF diode reactive 스퍼터 방법으로 Corning 7059 유리 기판 위에 증착하여 그 자기적 특성을 측정하였다. FeN 박막의 자기적 특성은 박막 두께, 가스 압력, 스퍼터 파워, N₂와 Ar의 유량비에 큰 영향을 받았다. 스퍼터 파워 800 W, 가스 압력 3 mT, 질소와 아르곤의 유량비 6.6 : 100, 단층 박막의 두께를 1,000 Å에서 6,000 Å으로 변화시키며 보자력의 변화를 측정 하였다, 두께가 30 Å인 SiO₂층을 사이층으로 하여 전체 박막 두께를 6,000 Å으로 고정하고 7층까지 증착한 시편의 보자력과 포화 자화값을 측정하였다. 단층 박막 두께에 따른 자화 용이 방향의 보자력은 두께가 증가할수록 감소하였으며 3,000 Å 이상에서는 거의 변화가 없었다. FeN 다층 박막의 경우 층수가 증가함에 따라 보자력은 감소하였다. X 선 회절 선폭으로 부터 결정립의 크기를 계산한 결과 층수가 증가할수록 결정립의 크기가 200 Å에서 120 Å으로 점차 감소하였다. 최소 보자력은 4층 박막에서 자화 곤란 방향으로 0.4 Oe을 얻었다. 투자율 측정 결과 최대 상대 투자율은 2,900이었으며, 이들 박막의 차단 주파수는 100 ㎒ 이상이었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 실험 결과 및 검토

Ⅳ. 결론

감사의 글

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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