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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제7권 제6호
발행연도
1997.12
수록면
299 - 307 (9page)

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KrF 엑시머 Laser Ablation법으로 (100)Si 기판위에 NdFeB 박막을 제조하였다. NdxFe_(90.98-x)B_(9.02) (x=17.51~27.51) 조성의 타겟을 사용하고, 레이저광에너지밀도를 2.75~5.99 J/㎠, 기판온도를 620~700℃로 하여 제공정 조건이 박막의 자기특성, 결정배향성 및 미세조직에 미치는 영향을 조사한 결과, 증착상태의 시편에서 우선결정배 향성은 관찰되지 않았으나 4 πMs ~_ 7 kG, 4 πMr ~_ 4 kG 및 Hc=300~1000 Oe인 자기특성이 얻어졌다. 증착속도는 에너지밀도의 증가에 따라 직선적으로 증가 하였으며, 기판온도 증가에 따라서는 현저한 변화가 관찰되지 않았다. 3 J/㎠의 에너지밀도가 최적의 조건이었으며, Nd량의 증가에 따라 4πMs의 현저한 감소없이 4πMr과 Hc가 증가하는 경향이 확인되었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

감사의 글

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-428-015141385