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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제9권 제6호
발행연도
1999.12
수록면
296 - 300 (5page)

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DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 금속 마스크를 사용하여 십자형태로 substrate/Ta/NiFe/FeMn/NiFe/CoFe/Al₂O₃/CoFe/NiFe와 substrate/Ta/NiFe/CoFe/Al₂O₃/CoFe/NiFe/FeMn/NiFe 스핀 터널링 접합 구조를 제조하였다. 이러한 구조에서 절연층(Al₂O₃)의 형성조건과 각 층의 두께와 파워에 대한 증착율에 변화를 주어 24.3 %의 자기 저항비를 얻었다. 두 종류의 구조에 대한 자기적 특성 비교와 Coming glass 7059와 Si(111) 기판의 종류에 따른 결과를 비교하였으며 소자 제조 때 수반되는 온도변화에 대한 특성변화를 알아보고자 열처리를 하였다. 열처리 결과 자기 저항비는 150 ℃까지는 어느 정도 일정한 값을 유지하다가 180 ℃ 열처리 후 갑자기 감소하는 결과를 얻었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

감사의 글

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Abstract

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