보자력 향상을 위한 Ti / CoCrPt박막의 하지층

장평우

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자료유형: 학술저널

저자정보: 장평우

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제12권 제3호

발행연도: 2002.6

수록면: 94 - 98 (5page)

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20 ㎚이하의 얇은 박막에서도 높은 보자력이 요구되는 Ti/CoCrPt 수직자기기록박막의 보자력 향상을 위해 Al, Cu, Ni, Cr, Ag, Mg, Fe, Co, Pd, Au, Pt, Mo, Hf 등의 여러 하지층과 제조조건이 보자력에 미치는 영향을 조사하였다. 이들 중 Ag과 Mg 하지층은 Ti/CoCrPt 박막의 보자력을 향상시켰으며 특히 2 ㎚ Ag 하지층을 사용할 경우 10 ㎚ CoCrPt 박막에서 2200 Oe의 높은 보자력을 보일뿐 아니라 α 값을 낮추는 효과가 있었다. 그러나 Ag를 하지층으로 사용하면 기대와는 달리 Ti(002)면의 우선배향성장이 전혀 일어나지 않아 보자력 증대에 다른 기구가 작용하는 것으로 판단되었다. 그리고 표면의 거칠기가 큰 기판에서는 보자력뿐만 아니라 역자구생성자계도 감소하였다.

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Pyungwoo Jang

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