마이크로파 여기 프라즈마법으로 제조한 강자성 터널링 접합의 국소전도특성

윤대식; 김철기; 김종오; Masakiyo Tsunoda; Migaku Takahashi; Ying Li

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자료유형: 학술저널

저자정보: 윤대식 김철기 김종오 Masakiyo Tsunoda Migaku Takahashi Ying Li

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제13권 제2호

발행연도: 2003.4

수록면: 47 - 52 (6page)

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DC 마그네트론 스파터법과 RLSA(Radial Line Slot Antenna)을 이용한 마이크로파 여기 프라즈마를 이용하여 Ta/Cu/Ta/NiFe/Cu/Mn_(75)Ir_(25)/Co_(70)Fe_(30)/Al-oxide 구조의 접합을 제조한 후, contact-mode AFM(Atomic Force Microscope)을 이용하여 Al 산화막의 국소전도 특성의 평가를 수행하였다. AFM 동시전류측정으로부터, 얻어지는 표면상과 전류상은 대응하지 않는다. 국소 전류-전압(Ⅰ-Ⅴ)의 측정 결과, 전류상은 절연층의 barrier height의 분포를 나타내고 있다는 것을 알았다.

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