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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제15권 제2호
발행연도
2005.4
수록면
61 - 66 (6page)

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서브 마이크론 크기의 셀을 제조하기 위하여 종래의 방식인 전체시료구조를 증착한 후 이온밀링 방식으로 제조하는 대신에 Pt 스텐실 마스크 공정과 e-beam 리소 및 습식 식각 공정을 이용하여 배치형 submicron 셀을 life-off 방식으로 제조하였다. 500㎚×500㎚, 200㎚×300㎚ 크기에 CoFe(30 Å)/Cu(100 Å)/CoFe(120 Å) 3층 구조를 셀내에 증착하고 수직전류를 인가하여 자기저항 특성을 조사하였다. 자기저항 특성은 두 자성층의 보자력 차이를 이용하여 스핀의 반평형 구조를 유도하여 슈도 스핀밸브이며 각 셀의 크기에서 1.1, 0.8%의 자기저항비가 얻어졌다. 또한 전류인가에 따른 저항변화로부터 스핀전달 효과에 따른 스위칭 변화가 일어남을 확인하였으며, 이 구조에서 저항의 변화로부터 측정된 임계전류밀도는 약 7.65×10^7A/㎠였다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험 방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

감사의 글

참고문헌

Abstract

참고문헌 (1)

참고문헌 신청
K. Inomata , 2001 , IEICE Trans. Electron. 740 google schola

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