RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Structural and Electrical Properties of a-axis ZnO:Al Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering

봉성재 ,  김선보 ,  안시현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Magnetic and Structural Studies on Fe Doped ZnO thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

Soo-Young Seo ,  Chang-Ha Kwak ,  Seon-Hyo Kim

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

RF magnetron sputtering법으로 성장시킨 ZnO박막의 광특성과 grain size의 영향에 관한 연구

김경국 ,  박성주 ,  정형진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 RF 파워 및 공정 압력이 미치는 영향

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

The deposition temperature effects of ZnO buffer layers on the properties of ZnO:(Al,P) thin films by RF-magnetron sputtering

신승학 ,  이준형 ,  허영우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

RF Magnteron Sputtering법으로 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

정영의 ,  조창우 ,  박성균

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power

Deok Kyu Kim ,  Hong Bae Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .11

The effect of ZnO buffer layer on the structural and electrical properties in the ZnO:(Al,P) thin films by the RF-magnetron sputtering

김창훈 ,  신승학 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명박막트랜지스터 특성 연구

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Al-doped ZnO thin film process optimization on glass with RF magnetron sputtering method

노영수 ,  이상엽 ,  최원국

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Characterization of Al-doped ZnO thin film grown on buffer layer with RF magnetron sputtering method

노영수 ,  이상엽 ,  김태환 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

열처리된 ZnO 박막의 광학적 특성에 관한 연구

심은희 ,  이초은 ,  고지현 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

열처리 효과가 ZnO 박막의 특성 변화에 미치는 영향 연구

이초은 ,  심은희 ,  고지현 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Properties of ZnO with Changing O₂ Flux grown by R.F magnetron sputtering

K. H. Pa ,  k ,  Yonghan Roh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

The effect of annealing temperature on structural and optical properties of ZnO films deposited by rf magnetron sputtering

G.C. Kim ,  H.H Jeon ,  S.J. Hwangboe 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02