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대한전자공학회 전자공학회논문지-TC 전자공학회논문지 TC편 제43권 제1호
발행연도
2006.1
수록면
33 - 41 (8page)

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Single phase unidirectional transducer (SPUDT), 리플렉터, 웨이퍼 본딩 패키지로 구성된 표면탄성파 (surface acoustic wave, SAW) 기반 압력센서가 개발되어 졌다. Coupling of Mode (COM) 모델링에 의한 소자의 시뮬레이션 및 최적 설계 변수가 얻어졌다. Finite Element Methods (FEM)를 통해 주어진 압력에 따른 다이어프램 벤딩, 스트레인/스트레스 변화 및 SAW 속도변위가 미리 예측되어졌다. 유출된 최적 설계 변수를 이용 440 MHz SAW 기반 압력센서가 41oYX LiNbO3 기판위에서 제작되어졌다. 고 S/N 비, 임펄스 리프렉션 피크, 작은 에러 피크가 관찰되어졌다. 측정된 S11 결과는 COM 모델링 및 FEM 시뮬레이션 결과와 일치함을 보였다.

목차

요 약

Abstract

Ⅰ. Introduction

Ⅱ. Analysis model and computer simulation

Ⅲ. Fabrication

Ⅳ. Experimental results and discussion

Ⅴ. Conclusions

Acknowledgments

참고문헌

저자소개

참고문헌 (13)

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