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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
대한설비공학회 설비저널 空氣調和 冷凍工學 제21권 제6호
발행연도
1992.12
수록면
514 - 528 (15page)

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목차

1. 서론

2. 공기오염(airborne contamination)

3. 격리기술(isolation technology - microelectronics)

4. 기술 기준과 방안(standards and practices - future trends)

5. 결론

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