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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
대한설비공학회 설비저널 空氣調和 冷凍工學 제22권 제6호
발행연도
1993.12
수록면
398 - 410 (13page)

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목차

1. 서론

2. 고주파 연면방전에 의한 플라즈마 화학처리(SPCP)기술의 개요

3. SPCP시스템의 개요 및 성능

4. 화학필터의 개요

5. 화학필터의 설계와 성능

6. 결론

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