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대한설비공학회 대한설비공학회 강연회 및 기타간행물 대한설비공학회 1987年度 제2회 Clean Room 강습회
발행연도
1987.5
수록면
1 - 23 (23page)

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목차

1. 서론

2. CLEAN ROOM의 설계시의 CHECK LIST

3. 기본 계획의 흐름

4. 실내 공기 오염 물질

5. 실내공기 오염물질 농도의 계산

6. 반도체 공장 CLEAN ROOM 제반 형식의 특징

7. 공조계산

8. 소음 및 진동

9. SEALING

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