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대한설비공학회 대한설비공학회 강연회 및 기타간행물 대한설비공학회 1988년도 크린룸 강습회
발행연도
1988.6
수록면
9 - 31 (23page)

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목차

1. 서언

2. Clean Room의 필요성 및 초 LSI의 결함과 미립자의 영향

3. Clean Room의 기본사항

4. 청정도의 설정

5. 작업시와 비작업시의 청정도 비교

6. Clean Room의 방식

7. Clean Room의 운영 및 관리

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