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이용수
1. 서언
2. Clean Room의 필요성 및 초 LSI의 결함과 미립자의 영향
3. Clean Room의 기본사항
4. 청정도의 설정
5. 작업시와 비작업시의 청정도 비교
6. Clean Room의 방식
7. Clean Room의 운영 및 관리
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
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