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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 Journal of Magnetics Journal of Magnetics Vol.11 No.1
발행연도
2006.3
수록면
25 - 29 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

Effects of annealing on structural and TMR properties in rf-sputtered CoFeB/MgO/CoFeB magnetic tunnel junctions
J. Y. Bae ,  D. J. Kim ,  W. C. Lim 외 3명 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 2006.06 학술대회자료
Compositional Change of MgO Barrier and Interface in CoFeB/MgO/CoFeB Tunnel Junction after Annealing
J. Y. Bae ,  W. C. Lim ,  H. J. Kim 외 4명 Journal of Magnetics 2006.03 학술저널

초록· 키워드

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Recent experiments have demonstrated high TMR ratios in MTJs with the MgO barrier [1, 2]. The CoFeB/ MgO/CoFeB junctions showed better properties than the CoFe/MgO/CoFe junctions because the MgO layer had a good crystalline structure with (001) texture and smooth and sharp interface between CoFeB/MgO [3]. The amorphous CoFeB with 20 at%B starts the crystallization at 340℃ [4] and this crystallization of the CoFeB helps obtaining the high TMR ratio. In this work, the compositional changes in the MgO barrier and at the interface of CoFeB/MgO/CoFeB after the CoFeB crystallization were studied in annealed MTJs. XPS depth profiles were utilized. TEM analyses showed that the MgO barrier had (100) texture on CoFeB in the junctions. B in the bottom CoFeB layer diffused into the MgO barrier and B-oxide was formed at the interface of CoFeB/MgO/CoFeB after the CoFeB crystallization.
#magnetic tunnel junction #MgO barrier #CoFeB electrode #interface analysis

목차

영어 초록
1. Introduction
2. Experiments
3. Results and Discussions
4. Conclusions
Acknowledgment
References

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - Stuart S. P. Parkin / 2004 / Nature Materials 3, 862 (2004) / Nature Materials google schola [학술지(정기간행물)] - Shinji Yuasa / 2004 / Nature Materials 3, 868 (2004) / Nature Materials google schola [학술지(정기간행물)] - Jun Hayakawa / 2005 / J. J. Appl. Phys. 44, L587 (2005) / J. J. Appl. Phys. google schola [학술지(정기간행물)] - Ji Young Bae / 2005 / J. J. Appl. Phys. 44, 3002 (2005) / J. J. Appl. Phys. google schola [학술지(정기간행물)] - H. L. Meyerheim / 2001 / Phys. Rev. Lett. 87, 076102 (2001) / Phys. Rev. Lett. google schola

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