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논문 기본 정보

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저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제5권 제2호
발행연도
2006.6
수록면
22 - 26 (5page)

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This paper addresses the development of a laser interferometer to measure micro displacement for a micro system. The laser interferometer is able to measure micro displacement during a few micro seconds with non-contact. In order to employ the interferometer, the displacement calibration experiment should be required. For the experiment, a laser probe installed on the optical table with optical devices and a micro stage. The velocity decoding board is also added to calculate doppler shift frequency directly. The output signal is processed by LabView. Finally experiments are found out the relation between displacement and output signal.
#Micro System(마이크로 시스템) #Heterodyne Laser Interference(헤테로다인 레이저 간섭계) #Micro Displacement Measurement(미세 변위 측정) #Displacement Calibration(변위 보정)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 레이저 간섭계
3. 미세 변위 측정 실험
4. 결론
후기
참고 문헌

참고문헌 (12)

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