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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.20 No.9
- 발행연도
- 2006.9
- 수록면
- 1,483 - 1,491 (9page)
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The pumping performance of molecular drag pumps (MDP) has been investigated experimentally. The experimented MDPs are a disk-type drag pump (DTDP), helical-type drag pump (HTDP) and compound drag pump (CDP), respectively. In the case of the DTDP, spiral channels of a rotor are cut on both upper surface and lower surface of a rotating disk, and the corresponding stator is a planar disk. In the case of the HTDP, the rotor has six rectangular grooves. The CDP consists with the DTDP, at lower part, and with the HTDP, at upper part. The experiments are performed in the outlet pressure range of 0.2~533 Pa. The inlet pressure and compression ratio are measured under the various conditions of outlet pressure and throughputs, and nitrogen is used for the test gas. At the outlet pressure of 0.2 Pa, the ultimate pressure has been reached to 1.0 X 10<SUP>-2</SUP> Pa for the HTDP, 1.3 X 10<SUP>-4</SUP> Pa for the DTDP, and 3.6 X 10<SUP>-5</SUP> Pa for the CDP. The maximum compression ratio of the CDP is much higher than those of the DTDP or HTDP. Consequently, the ultimate pressure of the CDP is the lowest one.
목차
영어 초록
1. Introduction
2. Experimental Devices and Method
3. Results and Discussion
4. Conclusions
Acknowledgements
References
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
Chu, J. G., 1987, "A New Hybrid Molecular pump with Large Throughput," J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.6, No.3, pp.1202~1204.
Hablanian, M. H., 1990, High-Vacuum Technology (A Practical Guide), Marcel Dekker, Inc.
Hablanian, M. H., 1994, In Vacuum Science and Technology: Pioneers of 20th Century, edited by P. A. Redhead (AlP, New Heo, J. S. and Hwang, K., 2000, "Molecular Transition and Slip Flows in the Pumping
Channels of Drag Pumps," J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.18, No.3, pp.1025~1034.
Heo, J. S. and Hwang, K., 2002, "Direct Simulation of Rarefied Gas Flows in Rotating Spiral Channels," J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.20, No.3, pp.906~910.
Hablanian, M. H., 1990, High-Vacuum Technology (A Practical Guide), Marcel Dekker, Inc.
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Channels of Drag Pumps," J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.18, No.3, pp.1025~1034.
Heo, J. S. and Hwang, K., 2002, "Direct Simulation of Rarefied Gas Flows in Rotating Spiral Channels," J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.20, No.3, pp.906~910.
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