반도체 공정용 소재 및 부품 성능 평가 연구

임성규 ,  박상현 ,  임종연 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Al₂O₃ 코팅 진공부품의 공정영향평가

노승완 ,  강상우 ,  서경천 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

반도체 장비용 Al₂O₃ 코팅 진공부품의 내부식성 평가 연구

유승민 ,  윤주영 ,  강상우 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .05

반도체/LCD장비 코팅부품의 내플라즈마 특성 연구

송제범 ,  신재수 ,  윤수진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

반도체 및 디스플레이 공정용 진공부품의 내식 성능평가 연구

유승민 ,  윤주영 ,  강상우 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

반도체/디스플레이 장비부품 코팅막의 플라즈마 환경 내 오염입자 발생 성능 평가기술 연구

이승수 ,  김민중 ,  정진욱 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

진공 장비용 코팅부품의 내플라즈마 특성 평가 방법

노승완 ,  신재수 ,  이창희 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

플라즈마 공정용 산화막 코팅부품의 신뢰성평가에 관한 연구

송제범 ,  이가림 ,  신재수 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

산화막 코팅부품 종류에 따른 플라즈마 환경 부식특성

최신호 ,  송제범 ,  신재수 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

반도체 공정에서의 진공 시스템 구성 및 역할

박태진 ,  채승기 ,  김성협

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Network 환경하에서 Simulator를 이용한 반도체 공정 교육의 가능성

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

차세대 나노 박막 다원계 모물질 설계 및 저마찰 코팅층 형성 기술

문경일 ,  이장훈 ,  선주현 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

코팅 및 기계 기술 특화, 전자재료용 코팅기 생산 주력 -최적 시스템으로 코팅기 업계 선도-

한국포장협회

포장계

2005 .01

코팅 기술과 설비에 대하여

박치범

포장계

1997 .01

반도체 및 LCD 공정이 TMP 성능에 미치는 영향 및 대응 방안

주장헌 ,  김효배 ,  김중조

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

진공부품용 Al₂O₃ 피막의 공정영향평가

유승민 ,  윤주영 ,  강상우 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

식각공정 안정화를 위한 내플라즈마성 코팅부품의 신뢰성 평가방법 연구

이승수 ,  송제범 ,  김진태 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

플라즈마 식각 공정 챔버내의 부품 식각률 감소를 위한 전처리 기술

김유신 ,  박형진 ,  김정환 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

차량용 후방감지센서의 신뢰성 향상을 위한 오염방지 코팅

손선영 ,  조현우 ,  정성준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

진공공정에서의 잔류기체 분석기를 활용한 실시간 공정 모니터링 : 반도체/LCD 제조 공정을 중심으로

김정훈 ,  강영귀

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02