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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.20 No.12
발행연도
2006.12
수록면
2,094 - 2,104 (11page)

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As demands for complex microstructures with high aspect ratios have increased, the existing methods, MEMS and LIGA, have had difficulties coping with the number of masks and fabricable heights. A microstereolithography technology can meet these demands because it has no need of masks and is capable of fabricating high aspect ratio microstructures. In this technology, 3D part is fabricated by stacking layers, 2D sections, which are sliced from STL file, and the Dynamic Image Projection process enables the resin surface to be cured by a dynamic image generated with DMD™ (Digital Micromirror Device) and one irradiation. In this paper, we address optical design process for implementing this microstereolithography system that takes the light path based on DMD operation and image-formation on the resin surface using an optical design program into consideration. To verify the performance of this implemented microstereolithography system, complex 3D microstructures with high aspect ratios were fabricated.
#Microstereolithography #Microstructures #Digital Micromirror Device(DMD) #Curing

목차

1. Introduction
2. Microstereolithography System Based on Dynamic Image Projection
3. Optical Design of Microstereolithography System
4. Fabrication of the 3D Microstructures
5. Conclusions
Acknowledgments
References

참고문헌 (39)

참고문헌 신청
Bertsch, A., Jezequel, J. Y. and Andre, J. C., 1997, "Study of the Spatial Resolution of a New 3D Microfabrication Process: the Microstereo-photolithography Using a Dynamic Mask-Generator Technique," Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry google schola Bertsch, A., Bernhard, P., Vogt, C. and Renaud, P., 2000, "Rapid Prototyping of Small Size Objects," Rapid Prototyping Journal, Vol.6, No.4, pp.259~266. google schola Bertsch, A., Jiguet, S. and Renaud, P., 2004, "Microfabrication of Ceramic Components by Microstereolithography," Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.14, pp.197~203. google schola Choi, J. W., Ha, M. Y., Won, M. H., Choi, K. H. and Lee, S. H., 2005, "Fabrication of 3-Dimensional Microstructures using Dynamic Image Projection," Proceeding of the 1st International Conference on Precision Engineering and Micro/Nano Technology in Asia, google schola Farsari, M., Claret-Tournier, F., Huang, S., Chatwin, C. R., Budgett, D. M., Birch, P. M., Young, R. C. D. and Richardson, J. D., 2000, "A Novel High-Accuracy Microstereolithography Method Employing an Adaptive Electro-optic Mask," Journal of Materials Pr google schola

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