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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 SD編 第44卷 第2號
발행연도
2007.2
수록면
46 - 54 (9page)

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본 연구에서는 WDM 시스템의 집적화를 위해서 InP 기반의 신개념의 마이크로 링 공진기 필터를 제안하고, 제작을 통해서 그 특성을 측정 분석하였다. 전반사 미러가 삽입된 구조는 자동 정렬 (Self-Aligned) 공정을 통해서 구현 하였고, 측정된 전반사 미러의 손실은 한 개의 미러당 0.71 ㏈를 얻을 수 있었다. 마이크로 링 공진기의 결합기로는 다중모드 간섭기를 이용하여 빛이 광도파로를 따라 진행할 때 링으로 결합되는 파워를 높였다. 다중모드 간섭기의 주변을 깊게 에칭을 하여 간섭기의 길이와 폭을 119 ㎛와 9 ㎛로 하였다. 링 공진기 내부의 광도파로와 전반사 미러에서의 손실을 보상하기 위해서 링 공진기 내부에 길이가 190 ㎛인 반도체 광 증폭기를 집적하였다. 이때 얻어진 FSR는 대략 1.333 ㎚ (162 ㎓)이고 소광비는 13 ㏈이다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 링 공진기의 구성
Ⅲ. 실험 및 결과
Ⅳ. 결론
참고문헌
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