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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제31권 제4호
발행연도
2007.4
수록면
417 - 424 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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This paper reports fabrication and characterization of a pressure sensor using a pitch-based carbon fiber. Pitch-based carbon fibers have been shown to exhibit the piezoresistive effect, in which the electric resistance of the carbon fiber changes under mechanical deformation. The main structure of pressure sensors was built by performing backside etching on a SOI wafer and creating a suspended square membrane on the front side. An AC electric field which causes dielectrophoresis was used for the alignment and deposition of a carbon fiber across the microscale gap between two electrodes on the membrane. The fabricated pressure sensors were tested by applying static pressure to the membrane and measuring the resistance change of the carbon fiber. The resistance change of carbon fibers clearly shows linear response to the applied pressure and the calculated sensitivities of pressure sensors are 0.25 ~ 0.35 and 61.8 Ω/kΩㆍbar for thicker and thinner membrane, respectively. All these observations demonstrated the possibilities of carbon fiber-based pressure sensors.
#Carbon Fiber(탄소섬유) #Piezoresistive Effect(압저항효과) #Dielectrophoresis(유전영동)

목차

Abstract
1. 서론
2. 압력센서 제작
3. 실험 장치
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
Sze, S. M., 1994, “Semiconductor Sensors,” John Wiley & Sons, Inc., New York, USA. google schola Carr, J. J., 1997, “Sensors and Circuits,” Prentice-Hall, Inc., New Jersey, USA. google schola Obieta,I. and Gracia, F. J., 1994, “Sputtered Silicon Thin Film for Piezoresistive Pressure Microsensors,” Sensor & Actuators A, Vol. 41, pp. 521~528. google schola Singh, R., Ngo, L. L., Seng, H. S. and Mok, F. N. C., 2002, “A Silicon Piezoresistive Pressure Sensor,” The 1st IEEE Int. Workshop on Electronic Design, Test and Applications (DELTA '02), p. 181. google schola Ishihara, T., Suzaki, K., Suwazono, S., Hirata, M. and Tanigawa, H., 1987, “CMOS Integrated Silicon Pressure Sensor,” J. Solid-state Circuit, Vol. SC-22, pp. 151~156. google schola

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