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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.10
수록면
641 - 642 (2page)

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목차

1. 서론
2. 극저온 CO₂ 세정 실험
3. 결론
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